陶瓷真空吸盘：

　　韩国RPS生产的半导体用陶瓷真空吸盘采用日本原装进口优质陶瓷，不锈钢包裹，运用特有的处理技术，把陶瓷与不锈钢体粘合在一起，再用设备研磨处理技术，达到高精度使用工作台，陶瓷表面分布细孔处理，使其能均匀把特体贴合在陶瓷表面，用在硅片的切割与减薄机上，底部特有的吸气装置处理，合理的运用空气真空原理，可做到4寸　5寸　6寸表面平整在3μm内，8寸　12寸在5μm内的高平整工作台，只要满足工作台使用的环境温度，操作规范化，工作台是可用数年而不会出问题。

　　为了满足当下半导用陶瓷的需求，在外形方面进行了改变，当下用flange type及ring type已满足不了切割中的要求，为了加大效率降低成本，越来越多的人们选择自己的定制品，当面积大时可用数块较小的陶瓷工作平面拼接，分开控制，更加灵活，在平整度上也得到了大面积不可控的技术难题，更大运用工作台的效能，陶瓷真正的技术在于使陶瓷的品质、不锈钢体的材质、表面平整度的处理、陶瓷与不锈钢体的结合技术，而使的条件也是很有影响的，环境温度控制在理想范围，冷确水温，水的吉净度等都要按要求配备。