1、采用空气轴承的高精密平衡机转轴支撑架　专利第10-0877120

2、混合式静压空气轴承　专利第10-1143425

3、转子一体式超高速转轴制造方法　专利第10-1041389

4、调温式晶圆真空吸盘制造装置　专利第10-1176821

5、超高速气浮电主轴的推力轴承冷却结构　专利第10-1183599

6、气浮电主轴的防异物进入结构　专利第10-1181705

7、设有限位器的晶圆切割用气浮电主轴　专利第10-1256358

8、适用于成型晶片的真空吸盘（特许第10-1360065）